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      一種微電鑄金屬模具的制造辦法,包含模具基底前處理、微電鑄母模的制造、微電鑄、微電鑄后處理、模具的檢測(cè)工序,其特征是：選用“無背板生長(zhǎng)法”,無背板生長(zhǎng)法就是經(jīng)過紫外線UV照耀光刻掩模板直接在鎳基板上電鑄出微結(jié)構(gòu)圖形；在微電鑄母模的制造工序中,在SU-8光刻膠與基板間加入了光刻膠的種子層；在微電鑄后處理工序中,選用真空退火,其制造辦法的具體步驟如下：(1)模具基底前處理包含高純度鎳基板的機(jī)械加工前處理和表面清潔,表面清潔選用有機(jī)溶劑除油法,有機(jī)溶劑選用丙酮和乙醇； (2)在微電鑄母模的制造工序中,SU-8光刻膠與種子層選用光刻技術(shù)中的套刻技術(shù),經(jīng)過光刻膠的顯影得到自由空間； (3)在微電鑄工序中,將電鑄鎳金屬填充于自由空間中,微電鑄電鑄液的配方為氨基磺酸鎳：360～380g/L、氯化鎳：5～10g/L、硼酸：50～60g/L；微電鑄技術(shù)條件為：PH值：3.5～4.0、溫度：50℃～55℃、電流密度1～2A/dm2。 (4)在微電鑄后處理工序中,先進(jìn)行真空退火處理,其溫度為200～800℃、時(shí)刻為60～200分鐘；再進(jìn)行精磨加工。 依照該辦法制造的微電鑄金屬模具具有側(cè)壁筆直度、表面光潔度好的長(zhǎng)處,處理根據(jù)模塑法、熱壓法的大規(guī)模、低成本生產(chǎn)的聚合物、塑料產(chǎn)品質(zhì)量低下的問題。適用于有機(jī)聚合物、塑料的微細(xì)加工。